Diff of SRIM

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**[[SRIM>soft/SRIM]] [#yef0009f]
|メインページ| http://www.srim.org/|
|参考ページ1| http:///www.arios.co.jp/srimtrim.htm|
|参考ページ2| http://|
|ライセンス|フリー|
|カテゴリ|[[[研究・開発・設計/シミュレーション>category/研究・開発・設計/シミュレーション]]][[[科学・技術/物理・天文・宇宙>category/科学・技術/物理・天文・宇宙]]]|
|概要|イオン注入シミュレーション|

***説明 [#h6e88ed2]
半導体などにイオンを注入する(イオンプランテーション)のをシミュレーションするソフト

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***コメント [#bcc31715]
#comment(above)